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结合生产实际从理论上分析磁控溅射过程中弧光的产生机理和影响孤光产生的因素并提出在生产实践中行之有效的解决方法。
阴极磁控溅射镀膜中弧光产生机理及灭弧方法
【摘 要】
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结合生产实际从理论上分析磁控溅射过程中弧光的产生机理和影响孤光产生的因素并提出在生产实践中行之有效的解决方法。
【机 构】
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恒辉镀膜玻璃有限公司
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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1997年3期
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