集成电路用半导体材料智能制造应用研究

来源 :工程建设与设计 | 被引量 : 0次 | 上传用户:robinhohome
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
集成电路用半导体材料是集成电路、半导体器件制造的基础材料,是一种十分敏感的战略性资源.集成电路用半导体材料智能制造应用研究就是在电子级多晶硅生产线的基础上,针对智能制造在多晶硅生产、经营流程中的具体应用进行研究,构建一套全面的生产过程信息管理系统,具备高度数字化、可视化、模型化、集成化和智能化,实现各层面的业务协同,提高企业的预测预警能力,保证生产安全和环保,实现设备自动化、人员高效化、管理信息化。提高产品的稳定性,达到集成电路用电子级高纯多晶硅的稳定产出的目的,为国家集成电路产业原材料提供战略保障。
其他文献
目的通过Meta分析了解我国大陆地区甲状腺结节的患病率。方法检索中国知网、中国科技期刊数据库及万方数据库中关于甲状腺结节患病率的相关文献。采用Stata 12.0软件进行数据
明清小冰期鼎盛期是指1560~1890年小冰期气候最寒冷的时期,其间气候波动剧烈,自然灾害频发,对明清社会经济发展产生了重大的影响。文中分别从满清入关、明朝灭亡、康熙复兴、
近红外漫反射光谱分析技术是一种新的光谱分析技术。本文详细论述了近红外漫反射光谱学原理及分析技术,对影响近红外漫反射光谱技术的主要因素进行了探讨,首次在固定滤光片式
目的 分析雄激素受体(androgen receptor,AR)、雌激素受体(estrogen receptor,ER)和促甲状腺激素受体(thyroid-stimulating hormone receptor,TSHR)在甲状腺乳头状癌(papilla
2016年5月6日新华网VR新闻频道正式上线,形成一个固有的栏目。在发布会上,新华网与中国电子技术标准化研究院签订战略合作协议,双方共同推出"虚拟现实·增强现实国家及行业标
目的:分析疼痛评估及护理对胸外科术后疼痛患者护理的效果。方法:将2016年2月至2017年2月本院胸外科接收并治疗的68例患者分为两组,对照组实施常规护理,研究组实施疼痛评估及
2018年12月8-9日,由复旦大学中华文明国际研究中心、复旦大学古籍整理研究所主办了“中国文学与文化研究范式新探索——致敬李欧梵先生”国际学术研讨会。李先生请香港中文大
水利工程施工环境较为复杂,受到地质条件、自然环境影响较大,基础作为水利工程施工的重要部分,对整个工程质量和后期运行都发挥着重要作用。如果水利工程基层为砾石层或某些