强激光热管冷却镜的数值研究

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为消除强激光微沟道水冷镜冷却水压力和扰动对激光输出稳定性的影响和冷却水道对冷却水流量的限制,提出并设计了热管冷却镜。采用ANSYS有限元软件,模拟计算了相同结构下镜面热吸收为12W/cm^2,实心镜、微沟道水冷镜与热管冷却镜连续工作60s下镜体温升和镜面变形量。计算结果表明:热管冷却镜镜面轴向位移最大峰谷值为0.1094um,微沟道水冷镜最大峰谷值为0.845um,实心镜镜面最大峰谷值为1.33um,热管冷却镜对镜面变形改善显著。
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