【摘 要】
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为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题，本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针．首先采用湿法刻蚀硅，得到280μm深的倒四棱锥锥坑；然后在锥
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院,上海交通大学微米／纳米加工技术国家级重点实验室,上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室
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为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题，本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针．首先采用湿法刻蚀硅，得到280μm深的倒四棱锥锥坑；然后在锥坑上甩200μm厚的负胶SU-8填充锥坑，并通过曝光显影负胶形成微针的形貌；最后在曝光显影后的负胶上电镀50μm厚的镍得到所需形状的空心金属微针．用此方法制备的空心微针高度为350μm、壁厚为50μm，其针尖形状为三棱锥和四棱锥．通过有限元仿真分析微针强度与微针结构尺寸的关系．用此方法加工出的微针具有锥形尖，改善了刺入皮肤的效果．
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