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采用溶胶-凝胶法（Sol-gel）制备了PZT压电薄膜，利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜，探索了Si／SiO2／Ti／Au／PZT／Cr／Au多层驱动膜结构制备方法，解决了在硅基底上制备PZT薄膜的问题，同时详细探讨了硅各向异性刻蚀微驱动器的关键部件驱动腔、单向阀的工艺，解决了集成制作的V型阀微驱动器的关键工艺问题，并通过SEM照片对V型阀和多层驱动膜进行了表征。研究结果表明，采用MEMS与IC技术结合的方法成功地完成了微驱动器的研制，得到的驱动腔硅