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以检测Cl2为目标,采用恒温化学共沉积法合成了In-Nb复合半导体氧化物,并研究了其气体传感器的制作方法,分析了In-Nb气敏材料的微观特性和敏感特性,探讨了气敏机理。实验证明,In-Nb材料具有良好的Cl2敏感特性。
In-Nb复合半导体氧化物Cl2敏感特性的研究
【摘 要】
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以检测Cl2为目标,采用恒温化学共沉积法合成了In-Nb复合半导体氧化物,并研究了其气体传感器的制作方法,分析了In-Nb气敏材料的微观特性和敏感特性,探讨了气敏机理。实验证明,
【机 构】
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哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站,哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院
【出 处】
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陶瓷学报
【发表日期】
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2008年3期
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