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采用高功率直流电弧等离子体喷射化学气相沉积工艺，制备了不同厚度的自支称金刚石厚膜。实验发现，等离子体炬阳极喷嘴积碳是沉积过程中最突出的问题之一。从理论和实验两个方面研究了阳极积碳产生的原因，并通过激光拉曼光谱分析了碳球的结构和成分。结果表明，碳球由金刚石层、混合层和最外面的石墨层构成。详细分析了甲烷浓度、冷却水温度、放电电弧的局部高温、阳极喷嘴的表面质量对积碳形成的影响，并提出了改进措施。