【摘 要】
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采用电子背散射衍射(EBSD)技术,以30~40nm的空间分辨率,显示GaAs-AlGaAs外延结构中的应力分布。将菊池花样质量IQ和Hough峰,以及晶格错配和局部转动等测量参数作为应力敏感参
【机 构】
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北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京工业大学光电子技术研究所
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采用电子背散射衍射(EBSD)技术,以30~40nm的空间分辨率,显示GaAs-AlGaAs外延结构中的应力分布。将菊池花样质量IQ和Hough峰,以及晶格错配和局部转动等测量参数作为应力敏感参数,分析GaAs-AlGaAs周期外延层中的应变状态。通过对菊池花样进行快速傅立叶变换和强度计算识别微区应变区域。
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