MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：leaffan1985

【摘要】

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显微干涉测量方法是一种被广泛使用的高精度表面测量方法，其中相移器的性能直接影响到系统测量的精度．对MEMS测量系统中使用的压电陶瓷相移器的主要误差源，包括迟滞、非线性和蠕

【作者】

：

郭彤胡春光陈津平傅星胡小唐

【机构】

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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

传感技术学报

【发表日期】

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2006年05A期

【关键词】

：

微机电系统显微干涉术相移器误差分析 Microelectromechanical systems（MEMS） Microscopic intefero

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显微干涉测量方法是一种被广泛使用的高精度表面测量方法，其中相移器的性能直接影响到系统测量的精度．对MEMS测量系统中使用的压电陶瓷相移器的主要误差源，包括迟滞、非线性和蠕变等进行了分析，并对开环条件下的相移器运动进行了标定．实验分别在开环和闭环条件下测量了经过NIST认证的标准44nm台阶，说明了两种条件下的测量精度，10次测量的平均值分别为41．34nm和43．24nm，标准偏差分别为2．08nm和0．41nm.

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