含氢非晶碳膜(a-C:H)红外光学特性的研究

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：askkwr

【摘要】

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采用端部霍尔离子源在硅基底上制备了含氢非晶碳膜(a-C:H),并测量了4 000～1 500 cm-1的红外透射光谱.基于单层薄膜的透射关系,获得了仅有六个拟合参数的光学常数计算模型.利用

【作者】

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潘永强吴振森

【机构】

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西安电子科技大学理学院,陕西,西安,710071;西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032

【出处】

：

红外与激光工程

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

含氢非晶碳膜光学常数曲线拟合

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采用端部霍尔离子源在硅基底上制备了含氢非晶碳膜(a-C:H),并测量了4 000～1 500 cm-1的红外透射光谱.基于单层薄膜的透射关系,获得了仅有六个拟合参数的光学常数计算模型.利用该模型,可以同时获得薄膜在宽波段范围内的光学常数和厚度:折射率的最大值为1.94,消光系数的最大值为0.014 9,拟合薄膜厚度为617 nm.

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