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讨论了150kHz等离子体中频电源的驱动与保护电路设计方案。该电路采用脉冲变压器耦合MOSFET管驱动电路，具有输出变压器原边平均电流和副边峰值电流的过流保护功能。结果表明：驱动波形的上升和下降时间都不超过80ns，并能在检测到过流信号时封锁驱动信号，关断变换器中的开关器件，切断过流故障，有效进行电路保护。