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利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ＺｎＯ纳米薄膜，运用多种分析手段研究了ＺｎＯ纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质，讨论了ＺｎＯ纳米薄膜的ＡＥＳ和ＸＰＳ普线宽度与粒径之间的关系，解释谱线加宽的基本原因。
氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究
【摘 要】
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利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ＺｎＯ纳米薄膜，运用多种分析手段研究了ＺｎＯ纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质，讨论了ＺｎＯ纳米薄膜的ＡＥＳ和ＸＰＳ普线宽度与粒径之间的关系，解释谱线
【机 构】
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华东理工大学物理系,安徽淮北煤炭师范学院物理系,复旦大学材料科学系,中科院北京真空物理
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1995年5期
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