新型高真空金属蒸发源的设计

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传统的真空镀膜技术有气相、液相、固相三种。而热蒸发属于气象沉积的一种。在热蒸发技术中,经常使用克努森炉作为蒸发源。这种束源炉具有控制精确、可重复性高、性能稳定等优点,但也具有控制复杂、造价高、维护困难等确定。我们在实践中对传统克努森炉的结构进行了重新改造,在不牺牲其主要优点的情况下进行了简化,得到一种经济实惠而性能依旧优良的蒸发源。
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