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叙述了多辊轧机轧制金属薄膜原理，以Ti膜制备为例．借助多辊轧机冷轧技术进行1．5μm厚钛薄带的制备工艺研究。对薄膜的特性测试结果表明：工作辊的表面粗糙度对于轧制薄膜的表面粗糙度的影响很大，降低工作辊表面的粗糙度可以得到粗糙度为25．2nm的金属薄膜。
多辊轧机冷轧技术在靶材料制备中的应用
【摘 要】
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叙述了多辊轧机轧制金属薄膜原理，以Ti膜制备为例．借助多辊轧机冷轧技术进行1．5μm厚钛薄带的制备工艺研究。对薄膜的特性测试结果表明：工作辊的表面粗糙度对于轧制薄膜的表面粗
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2006年1期
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