论文部分内容阅读
一、 引言 制版和光刻的结合决定了半导体器件的横向尺寸。制版和光刻误差表现为单个矩形块的长宽误差、管芯图形的倍率误差、分步重复距离误差等,所有这些误差都可归结为硅片平面上各点x、y座标误差。引起误差的原因是多种多样的,其中有机械的(导轨、丝杠)、光学的(透镜、棱镜和光栅质量及其相对位置)、电
在焦深范围内隐藏着套不准因素
【摘 要】
：
一、 引言 制版和光刻的结合决定了半导体器件的横向尺寸。制版和光刻误差表现为单个矩形块的长宽误差、管芯图形的倍率误差、分步重复距离误差等,所有这些误差都可归结为硅
【机 构】
：
常州半导体厂
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
1981年4期
其他文献
近十年来,超突变结变容二极管在工业生产上解决了批量生产的问题,人们已经掌握了多种工艺方法制造出各具特点的超突变结变容管.用双外延法制作的调频变容管就是其中之一.它已
期刊
论述了社会信息化下的高校图书馆要发挥自身的优势，为当代企业做好信息咨询服务，并且探讨了高校图书馆为企业进行信息服务的优势、方式及有效途径。
将语文、数学、英语、物理、化学、几何等教学效果用一个雷达图表现出来。根据雷达图呈现l叶l的优劣．有针对性地查缺补漏，提升教学效果，这是笔者近日和一位高二班主任那儿看到的
主要介绍了MGTY250／600-1．1D智能型电牵引采煤机控制系统的工作原理、硬件配制和软件设计，指出该控制系统设计较好地满足了系统的需要，保证了整机性能稳定，为智能型电牵引采煤机的
高大的身材，黝黑的皮肤，这是全国农网配电运检岗位能手、江苏省高邮市供电公司农电系统首位高级技师杨宝山给人的第一印象。在水乡高邮，他是本市十大新闻人物，也是一名普通的农电
本文叙述晶体管装配生产中,上芯温度和老化时间对晶体管在小注入时的电流放大系数β值的影响,从实验上获得以金硅合金为焊片的晶体管最佳热压键合上芯温度为460±10℃.汕
期刊
随着电信产业竞争的加剧,经济形势日趋复杂,行业新型领域的拓展,移动运营商的利润空间进一步被压缩,成本资源日趋紧张。如何高效利用有限的内部资源,提升成本精益管理能力,提
事业单位预算管理是提高事业单位财务管理质量,提升单位管理层次的重要内容。本文从分析全供事业单位预算管理的特点出发,进而指出了当前事业单位预算管理中存在的主要问题,
师生互动是指教师和学生之间的一切相互作用和影响。无论这种影响发生在教育教学情境中,还是发生在教育教学情境之外的社会背景中,都会导致双方心理与行为发生同向或反向的变
注意力资源作为一种新资源,为企业创造了财富,它同样也适用于面临挑战的图书馆.面对浩如烟海的信息以及庞大的信息市场,图书馆信息营销取向要转移到获取用户的注意力这个中心