具有数字输出和误差修正功能的集成光学位置灵敏探测器

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具有数字输出和误差修正功能的集成光学位置灵敏探测器F.R.Rieolijk等1.前言集成光学位置灵敏探测器(PSD)在诸如准直和邻近测量、机器观测、弹道控制等方面已获得广泛应用。目前,配电仪表系统都由各类传感器和传动装置组成。传感器的广泛应用使建造廉...
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