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介绍了新硅烷法制造多晶硅的中间产物氢化铝钠的物理化学性质，并根据物料性质和设备结构，通过实验，确定了使用两台泵站同时运行的循环清洗工艺。
氢化铝钠反应器的化学清洗
【摘 要】
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介绍了新硅烷法制造多晶硅的中间产物氢化铝钠的物理化学性质，并根据物料性质和设备结构，通过实验，确定了使用两台泵站同时运行的循环清洗工艺。
【机 构】
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蓝星环境工程有限公司
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2010年9期
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