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运用四周固支薄板小挠度理论，分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性．给出了小挠度下，在外界载荷作用下总应力表达式和薄膜机械灵敏度表达式，并分析了残余应力对二者的影响．研究表明，对存在较大残余应力的硅薄膜，总应力和机械灵敏度主要由残余应力决定，其中机械灵敏度较忽略残余应力时的值减小三个数量级．