GWC100—3型光栅位移传感器的设计与应用

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针对传统技术光栅位移传感器的光栅副层迭间隙小带来的调整困难、受光栅尺变形影响大、讯号质量差及做位移测量时量程比较小等缺陷,设计了一种结构新颖、调整方便和接收讯号强的新型光栅位移传感器,并成功应用于高精度数显专用测量仪。
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