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一、引言固态传感器的微结构通常用化学腐蚀法获得,如,薄膜、埋层和悬板等。传感器输出电讯号的灵敏度与机械应力或信号源的变化有关,而这种变化又依赖于薄膜厚度。所以厚度的精确控制对器件性能的影响是十分重要的。
传感器硅膜制备技术的研究
【摘 要】
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一、引言固态传感器的微结构通常用化学腐蚀法获得,如,薄膜、埋层和悬板等。传感器输出电讯号的灵敏度与机械应力或信号源的变化有关,而这种变化又依赖于薄膜厚度。所以厚度
【机 构】
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东南大学,东南大学南京市,南京市
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1989年1期
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