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期刊论文
四氯化硅氢化研究进展
四氯化硅氢化研究进展
来源 :氯碱工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xdt1973
【摘 要】
:
综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展,并对这3种技术进行了对比。
【作 者】
:
陈其国
陈涵斌
满慈皊
【机 构】
:
江苏中能硅业科技发展有限公司
【出 处】
:
氯碱工业
【发表日期】
:
2010年6期
【关键词】
:
四氯化硅
三氯氢硅
多晶硅
热氢化
氯氢化
等离子体法氢化
silicon tetrachloride
trichlorosilane
polysili
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综述了四氯化硅热氢化法、氯氢化法和等离子体氢化法制备三氯氢硅的最新进展,并对这3种技术进行了对比。
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