【摘 要】
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一、本征光子探测主要发展方向依然是三元系。较多地使用了各种外延工艺和离子注入工艺,主要目的是制作多元器件。 HgCdTe情况比较稳定。其主要进展是制成2.06微米雪崩光电
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一、本征光子探测主要发展方向依然是三元系。较多地使用了各种外延工艺和离子注入工艺,主要目的是制作多元器件。 HgCdTe情况比较稳定。其主要进展是制成2.06微米雪崩光电二极管,用来接收探测环境污染的LiYF_4∶Ho激光;制成HgCdTe探测器与六级温差电致冷器的组件,用于10.6微米激光外差探测(表1)
First, the main development direction of intrinsic photon detection is still ternary system. More use of a variety of epitaxial process and ion implantation process, the main purpose is to create multiple components. HgCdTe situation is relatively stable. The main progress is made of 2.06 micron avalanche photodiodes used to receive LiYF_4: Ho laser to detect environmental pollution; made HgCdTe detector and six temperature differential electrical cooler components for 10.6 micron laser heterodyne detection 1)
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