【摘 要】
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技术鉴定。经机械部机械研究总院组织全国36单位共60人,该设备可满足离子沉积工艺要求,达到我国同类产品的先进技术水平。它具有下列特点和性能: 1.具有程序自动控制和手动控
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技术鉴定。经机械部机械研究总院组织全国36单位共60人,该设备可满足离子沉积工艺要求,达到我国同类产品的先进技术水平。它具有下列特点和性能: 1.具有程序自动控制和手动控制两种功能。 2.结构比较紧凑,电子枪工作稳定,束斑较小,拆装方便。电子枪工作电压、束流、离子化电源,
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