【摘 要】
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为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所应用光学实验室,中国科学院大学
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为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成。介绍了各部分的工作原理及其设计方法,比较了辅助全息装调方法和普通装调方法的优劣,并给出了检测Φ187.72mm、F数为1.71的凹非球面镜的计算全息设计实例,分析了影响全息检测精度的各项误差源,计算得出所设计的计算全息的检测精度可达4.75nm,实现了非球面元件面形的高精度检测。
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