一种全新的超高速双极ECL硅工艺—氧化物隔离等平面S(Z)

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nicoljoe001
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
氧化物隔离等平面S(z)工艺采用全离子注入工艺代替原始的扩散工艺,使得整个工艺流程更为简化,对于浅结工艺的重复性和均匀性均有较大提高。发射极条和基极条形成自对准,发射极四周靠墙。发射极条宽为3微米时,f_γ>3GHz。该工艺已应用于超高速双极ECL分频器中。
其他文献
文中讨论了通用编辑环境及组合应用软件,并针对IBM—PC/XT/AT及兼容机提出一个通用编辑环境文本TOP,最后举例说明了TOP的应用。
<正> 采用引线框架和压模工艺,用低成本的塑料管壳封装一个芯片的集成电路相对地要容易一些。然而,对于特定的功能要求一个以上的器件的封装来说,就不那么容易或廉价了。本文
上海市化工局陈安昌在《档案工作如何列入企业基础管理工作中》一文说,档案工作列入企业基础管理工作中,企业档案工作才会有扎实的基础,才能稳固、顺利地发展,才能真正提高档
随着科学技术的发展,化工机械设备得到了更新和发展,但也存在着许多设备维护问题。常见的故障包括仪器故障和机械密封问题。在对这两个问题进行分析和研究的基础上,提出了相
“互联网+”时代背景下,风靡全球的微课及翻转课堂教学模式成为高校教育的发展趋势。笔者将结合理论知识与自身教学实践,以西班牙语翻译课程为例,剖析传统课程教学模式带来的弊
对比分析国内外可转换债券定价理论,从价值分析、数值方法和利率期限结构三个方面详尽地给出可转换债券的定价模型,提出了可转换债券定价研究中存在的问题并指出今后研究发展
PPP模式既是支持新型城镇化建设的重要手段,又是改进政府公共服务的重要举措。在当前朔州市财政经济下行、增长缓慢的形势之下,更是化解地方投融资难题、缓解财政支出压力、
【正】 为了进一步发挥国有医药商业企业主渠道的作用,搞活农村市场药品流通,促进农村经济的发展,提高国有医药企业的经济效益,玉林市医药公司充分利用自身的优势,积极下仲经