【摘 要】
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本文将材料蒸汽压作为影响真空装置极限真空的重要因素引入其计算公式。分析了各种气体负荷对极限真空及工作压强的影响，给出了不同真空区真空装置的适用公式。并以真空泵利用
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本文将材料蒸汽压作为影响真空装置极限真空的重要因素引入其计算公式。分析了各种气体负荷对极限真空及工作压强的影响，给出了不同真空区真空装置的适用公式。并以真空泵利用系数方法预计管路流导，进而再确定管路结构。
In this paper, the material vapor pressure as an important factor affecting the ultimate vacuum vacuum device into its formula. The effects of various gas loads on the ultimate vacuum and working pressure are analyzed. The applicable formulas of the vacuum devices in different vacuum zones are given. The coefficient of the vacuum pump is used to predict the pipeline conductance, and then determine the pipeline structure.
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