【摘 要】
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目的研究阴极电弧离子镀脉冲电源占空比对AlCrN涂层结构和性能的影响,优化工艺参数,以提高涂层的性能。方法采用脉冲电弧离子镀制备不同占空比AlCrN涂层,利用扫描电子显微镜(
【机 构】
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武汉大学动力与机械学院,武汉大学苏州研究院
【基金项目】
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国家自然科学基金(U1832127),江苏省自然科学基金(BK20171233)
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目的研究阴极电弧离子镀脉冲电源占空比对AlCrN涂层结构和性能的影响,优化工艺参数,以提高涂层的性能。方法采用脉冲电弧离子镀制备不同占空比AlCrN涂层,利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、纳米压痕仪和Chi650e电化学工作站,表征涂层的结构、力学性能和耐蚀性能。结果随着占空比的增加,涂层表面颗粒面积分数和粗糙度先逐渐增加,当占空比大于20%后,颗粒面积分数趋于平稳,同时涂层的厚度从4.06μm逐渐增加到7.56μm。当占空比低于20%时,涂层中存在较多的孔隙;
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