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工作频率及装置结构对射频感应等离子体特性影响的数值研究

来源 :高电压技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：supengfei789

【摘 要】

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【作 者】

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陈文波  陈伦江  刘川东  程昌明  童洪辉  朱海龙 

【出 处】

：

高电压技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

射频感应耦合 湍流等离子体 温度 流场 数值模拟 

【基金项目】

：

国家自然科学基金(11535003,11675074);湖南省教育厅项目(15C1174)~~

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回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield Buddy revenge - back to Japan E back. “Back once again.” Back to the dried meat in the magic N_. NH lP7-ewwe - “a” $ MN.W; - __._ - ------ "anvil called] feather production: Chen Tian

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