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探针软接触技术
探针软接触技术
来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:likeu111
【摘 要】
:
本文研究了探针的软接触技术,给出了软探针的结构示意图,介绍了软探针的特点、制造和应用。
【作 者】
:
聂海谱
【机 构】
:
中国华晶电子集团公司技术支援中心
【出 处】
:
微电子技术
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
探针
软接触
硅材料
制造
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本文研究了探针的软接触技术,给出了软探针的结构示意图,介绍了软探针的特点、制造和应用。
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