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从应用开发MEMS产品的实用角度出发,介绍了利用硅-硅键合技术制作的微型电容式压力传感器,给出了详细的制作工艺及主要工艺步骤图.对微传感器所用的测试装置的组成、测试电路的工作过程进行了详细介绍和深入分析.最后对不同尺寸的微传感器器件进行了测试,并对测试结果进行具体分析.结果表明:该微传感器具有良好的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度.