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六角GaN薄膜中的晶体缺陷结构研究
六角GaN薄膜中的晶体缺陷结构研究
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:labidax
【摘 要】
:
我们利用电子显微镜的高阶弱束暗场成像技术和高分辨电子显微术对在GaP基体上由分子束外延生长方法制备的六角GaN薄膜中的晶界、畴界、线型位错进行了详细系统的研究。研究中我们确
【作 者】
:
王绍青
刘全朴
王元明
【机 构】
:
中科院金属所固体原子像开放实验室,英国剑桥大学材料系
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1998年5期
【关键词】
:
晶界
畸界
位错
GAN
薄膜
晶体缺陷
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我们利用电子显微镜的高阶弱束暗场成像技术和高分辨电子显微术对在GaP基体上由分子束外延生长方法制备的六角GaN薄膜中的晶界、畴界、线型位错进行了详细系统的研究。研究中我们确定了GaN薄膜中存在的大量线型位错基本都是Burgers矢量为b=1/3〈11...更多还原
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