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期刊论文
阳极真空弧基本现象及理论分析
阳极真空弧基本现象及理论分析
来源 :烟台大学学报:自然科学与工程版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pconeone
【摘 要】
:
依据阳极真空弧实验事实叙述了阳极弧的形成过程中所观察的基本现象。应用等离子体输运理论和Boxman-Goldsmith模型,对这一放电过程进行了分析,通过弧等离子体特性的测量,估计出粒子沉积能量。
【作 者】
:
王瑞光
贺秉庚
【机 构】
:
烟台大学物理系,烟台大学计算机学院
【出 处】
:
烟台大学学报:自然科学与工程版
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
阳极真空弧
等离子体
阳极斑
真空电弧沉积
anodic vaccum arc
plasma
anodic spot
electron temperature
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依据阳极真空弧实验事实叙述了阳极弧的形成过程中所观察的基本现象。应用等离子体输运理论和Boxman-Goldsmith模型,对这一放电过程进行了分析,通过弧等离子体特性的测量,估计出粒子沉积能量。
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