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阐述了Pd及其合金复合膜的种类及其制备方法，其中化学镀法较好，通过改变镀液质量浓度和控制反应速率，可制备一定厚度的Pd膜．分析了化学镀方法制备钯膜过程中影响膜性能及其生成速率的因素，如预活化方法、镀液组成、EDTA影响、施镀温度和载体结构以及在镀膜一侧施加压力等，为Pd及其合金复合膜制备条件的优化提供参考。