【摘 要】
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襄樊仪表元件厂为适应发展自动化仪器仪表等新产品的发展需要 , 决定新建集成电路生产线 , 此部分以 10万级洁净生产区为主 , 分为上、下两层 , 底层为线性电路车间 , 二层为
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襄樊仪表元件厂为适应发展自动化仪器仪表等新产品的发展需要 , 决定新建集成电路生产线 , 此部分以 10万级洁净生产区为主 , 分为上、下两层 , 底层为线性电路车间 , 二层为数字电路车间 , 洁净区建筑面积为 1 210 m2. 具有一定空气洁净度要求的房间称为洁净室 , 集成电路大部分生产工序的环境都需要进行空气净化处理 . 根据工艺流程及其对洁净、恒温等不同要求 , 线性、数字电路车间其洁净等级设计要求为 10万级 , 即粒度在 0.5 μ m以上的尘垢含量不得超过 3 500个 /L. 洁净车间
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