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介绍了UHVCVDSiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计．通过合理选取预备室和反应室的真空泵组，满足了设备的超高真空要求，自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率。
UHVCVDSiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计
【摘 要】
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介绍了UHVCVDSiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计．通过合理选取预备室和反应室的真空泵组，满足了设备的超高真空要求，自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2013年4期
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