【摘 要】
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高性能模拟集成电路产品需要复杂的工艺来实现高速、低噪声、高精度等要求,这些复杂性给各种技术都带来了严峻的可靠性考验。重点阐述了通用IC工艺器件的可靠性机理和面临的
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所,
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高性能模拟集成电路产品需要复杂的工艺来实现高速、低噪声、高精度等要求,这些复杂性给各种技术都带来了严峻的可靠性考验。重点阐述了通用IC工艺器件的可靠性机理和面临的可靠性挑战。为了满足更广领域IC的可靠性需求,深入研究器件的可靠性特性与传统的工艺可靠性保证条件同样重要。
High-performance analog integrated circuit products require complex processes to achieve high-speed, low-noise, high-precision and other requirements, these complexities to a variety of technologies have brought a severe reliability test. The reliability mechanism and reliability challenges of general-purpose IC process devices are mainly discussed. In order to meet the reliability requirements of a wide range of ICs, it is just as important to study the reliability characteristics of the device in more detail as the traditional process reliability assurance conditions.
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