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从理论和实验两方面对纳米ｘ－ｙ工作台的固有频率特性进行了分析计算和讨论。
纳米X—Y工作台固有频率特性的研究
【摘 要】
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从理论和实验两方面对纳米ｘ－ｙ工作台的固有频率特性进行了分析计算和讨论。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1995年6期
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