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介绍了多晶硅气相沉积反应的几何模型和数学模型。回顾了。重点综述了近几年国内外还原炉内SHC13-H系统三维过程数值模拟的研究进展，并对其评述。讨论了化学气相沉积数值模拟的研究现状和存在的问题，展望了今后的发展方向。
多晶硅化学气相沉积数值模拟的研究进展
【摘 要】
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介绍了多晶硅气相沉积反应的几何模型和数学模型。回顾了。重点综述了近几年国内外还原炉内SHC13-H系统三维过程数值模拟的研究进展，并对其评述。讨论了化学气相沉积数值模拟
【机 构】
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山西潞安高纯硅业科技公司
【出 处】
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化工技术与开发
【发表日期】
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2013年9期
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