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偏振干涉相位细分的误差分析与补偿
偏振干涉相位细分的误差分析与补偿
来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hzm_jjc
【摘 要】
:
高分辨率、高精确度的偏振干涉测长方法在几何量测量中得到了广泛的应用。本文应用严格的数学方法分析了它的测量误差,并提出补偿与消减该项误差的方法。
【作 者】
:
张孟斌
孙文林
【机 构】
:
北京机械工业学院
【出 处】
:
计量学报
【发表日期】
:
1994年3期
【关键词】
:
位移测量
干涉仪
误差
相位
Displacement measurement
Interferometer
Laser
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高分辨率、高精确度的偏振干涉测长方法在几何量测量中得到了广泛的应用。本文应用严格的数学方法分析了它的测量误差,并提出补偿与消减该项误差的方法。
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