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高分辨率、高精确度的偏振干涉测长方法在几何量测量中得到了广泛的应用。本文应用严格的数学方法分析了它的测量误差，并提出补偿与消减该项误差的方法。
偏振干涉相位细分的误差分析与补偿
【摘 要】
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高分辨率、高精确度的偏振干涉测长方法在几何量测量中得到了广泛的应用。本文应用严格的数学方法分析了它的测量误差，并提出补偿与消减该项误差的方法。
【机 构】
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北京机械工业学院
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1994年3期
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