【摘 要】
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针对部分天馈器件结构复杂和腔体尺寸太小无法进行传统镀覆防护的特点，提出了真空气相沉积派拉纶（Parylene）膜层防护处理方法。采用涂覆硅烷偶联剂、优化涂覆工艺过程解决了Pary
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针对部分天馈器件结构复杂和腔体尺寸太小无法进行传统镀覆防护的特点，提出了真空气相沉积派拉纶（Parylene）膜层防护处理方法。采用涂覆硅烷偶联剂、优化涂覆工艺过程解决了Pary-lene涂覆层与基体的结合力、Parylene膜层质量等关键技术，通过防护试验和电性能测试验证了防护方法的有效性和可行性。
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