基于全电荷格林函数的MEI方法在超高速集成电路互连线参数提取中的应用

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本文提出了将全电荷格林函数用于测度不变方程(MEI)法中,即将全电荷格林函数代替完全格林函数积分以求得测量函数从而决定测度不变方程.并以这种MEI法计算了某些多导体互连线的分布电容矩阵. In this paper, the full charge Green’s function is proposed to be used in the MEI method. The full charge Green’s function is replaced by the complete Green’s function integral to obtain the measurement function and thus to determine the invariant equation. The MEI method was used to calculate the distributed capacitance matrix of some multi-conductor interconnects.
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