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采用直溅射Ｎｉ（ＯＨ）２粉末压实靶制作了电致变色膜，介绍了制膜工艺，用ＸＲＤ谱研究了着色前，后膜的结构，ＸＰＳ谱研究Ｎｉ，Ｏ的结合，谱响应特性和电化学特性表明，膜的电色活性良好。
直流溅射电致变色NiOxHy膜的研究
【摘 要】
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采用直溅射Ｎｉ（ＯＨ）２粉末压实靶制作了电致变色膜，介绍了制膜工艺，用ＸＲＤ谱研究了着色前，后膜的结构，ＸＰＳ谱研究Ｎｉ，Ｏ的结合，谱响应特性和电化学特性表明，膜的电色活性良好。
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系
【出 处】
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发光学报
【发表日期】
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1996年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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