【摘 要】
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提出了一种基于压电陶瓷的新型冲击式微位移驱动器,该驱动器利用摩擦力和惯性原理使目标产生步进式的微位移.其特点是最小位移可达几纳米,并在几纳米至几微米之间连续可调,运
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提出了一种基于压电陶瓷的新型冲击式微位移驱动器,该驱动器利用摩擦力和惯性原理使目标产生步进式的微位移.其特点是最小位移可达几纳米,并在几纳米至几微米之间连续可调,运动范围几乎不受限制,具有实用的运动速度,系统结构简单,操作与控制方便,因而可能在微纳米技术中得到广泛应用.阐述了该驱动器的工作原理和机构设计,给出了它在扫描隧道显微镜中用于探针-样品间的自动定位控制的应用实例,得到了理想的结果.
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