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研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。
基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术
【摘 要】
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研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对自支撑Au、Mo膜进行测量。结果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。
【机 构】
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中国工程物理研究院
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2010年B09期
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