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本文叙述了多功能光栅测长仪光栅尺的光刻工艺,文中就采用新冷光源,选择负性光致抗蚀剂,获得高精度、高反差,低反射黑铬光栅线及有关技术问题等进行了讨论。
应用新光源,国产光致抗蚀剂,光刻高精度长光栅
【摘 要】
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本文叙述了多功能光栅测长仪光栅尺的光刻工艺,文中就采用新冷光源,选择负性光致抗蚀剂,获得高精度、高反差,低反射黑铬光栅线及有关技术问题等进行了讨论。
【机 构】
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中国科学院南京天文仪器厂,中国科学院南京天文仪器厂
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1989年1期
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