【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法制备了Zr0.5Ti0.5O2复合氧化物纳米薄膜,通过X射线衍射分析（XRD）、扫描电镜分析（SEM）、紫外-可见吸收光谱（UV-Vis）和X射线光电子能谱（XPS）等方法对材料进行了表征.结
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区、吉林大学电子科学与工程学院
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采用溶胶-凝胶法制备了Zr0.5Ti0.5O2复合氧化物纳米薄膜,通过X射线衍射分析（XRD）、扫描电镜分析（SEM）、紫外-可见吸收光谱（UV-Vis）和X射线光电子能谱（XPS）等方法对材料进行了表征.结果表明,纳米薄膜为Zr∶Ti原子比为1∶1的复合材料,薄膜表面平整、致密、光滑,皲裂情况较单纯的TiO2和ZrO2薄膜有明显改善;另外,由于Zr的掺入,薄膜在紫外光波段具有良好的吸收,吸收带较TiO2薄膜有明显的蓝移.通过标准的光刻剥离技术和磁控溅射技术在Zr0.5Ti0.5O2纳米薄膜上制作了叉指型
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