【摘 要】
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介绍了微机电系统(MEMS)传感器的发展现状,分析了典型的商用MEMS传感器,针对煤矿井下传感器应用特点,重点阐述并研究了基于MEMS技术的压力、气体传感器在煤矿井下应用的技术
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介绍了微机电系统(MEMS)传感器的发展现状,分析了典型的商用MEMS传感器,针对煤矿井下传感器应用特点,重点阐述并研究了基于MEMS技术的压力、气体传感器在煤矿井下应用的技术性能优势和可行性。最后,对煤矿井下的MEMS传感器的应用趋势进行了展望。
This paper introduces the development status of MEMS sensors, analyzes the typical commercial MEMS sensors, analyzes the application characteristics of underground coal mine sensors, emphatically describes and studies the technical performance advantages of pressure and gas sensors based on MEMS technology in coal mine, feasibility. Finally, the prospect of the application of MEMS sensors in coal mine is prospected.
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