NTDCZSi中空位缺陷的退火研究

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用正电子湮灭寿命谱技术研究了NTDCZSi的辐照损伤退火行为.发现辐照后的CZSi中产生了大量空位型缺陷。随着退火温度升高,这些缺陷不断分解,直到1100℃仍有极少量空位型缺陷存在。 The positron annihilation lifetime spectroscopy technique was used to study the damage behavior of NTDCZSi irradiated by irradiation. A large number of vacancy defects were found in irradiated CZSi. As the annealing temperature increases, these defects continue to decompose until 1100 ° C there is still a small amount of vacancy-type defects exist.
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