论文部分内容阅读
利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKO NT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31：1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.
静电驱动可调微机械电容
【摘 要】
：
利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKO NT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结
【机 构】
：
微米／纳米加工技术国家级重点实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2007年9期
【基金项目】
：
国家高技术研究发展计划（批准号：2006AA03Z301）,上海应用材料研究与发展基金（批准号：0515）,非硅精密微机械制造技术研究基金（批准号：D2320060098）和上海市纳米专项基金（批准号：0652nm004）资助项目
其他文献
本文报道27例癫痫患儿,给予卡马西平、苯巴比妥治疗前后检测BEAM,并结合临床动态观察。结果:19例坚持治疗,临床症状及异常脑电地形图有改善,8例未坚持治疗,2例改善不明显,5倒
《现代电生理学杂志》第五届编委会及创刊20周年庆典会、《现代电生理学杂志》全国脑象图协作研究中心成立大会、《现代电生理学杂志社》全国巡回（天津站）脑象图临床应用学术研讨会暨河北省电生理学会第四届代表大
《现代电生理学杂志》社依据本杂志章程和办刊宗旨,于2013年4月11日～14日在天津召开了《现代电生理学杂志》第五届编委会议暨创刊20周年庆典会《现代电生理学杂志》社会国脑象
赵沨是我国当代著名的音乐理论家、音乐教育家、音乐活动家、新中国专业音乐教育的开拓者。他呕心沥血数十载．为我国的音乐教育事业做出了重大贡献。赵沨的音乐教育思想涉及基
提出了八种节点电容典型结构用以建立电容模型库，并阐明了这八种结构可以提取大多数VLSI互连线的电容参数，给出了这些结构的拟合公式．采用该库查找法计算的互连线电容结果与Fast
目的探讨甲状腺自身抗体阳性对孕产妇母婴预后的影响。方法选择2015年3月至2016年11月本院收治孕产妇80例，观察组为血液生化检查确诊存在妊娠期甲状腺自身抗体阳性，对照组为正
目的:探讨引导痛觉相关诱发电位(PREPs)的无创性电刺激方法.方法:右拇指(食指)、Erb氏点表面电刺激,头皮Cz-A1A2导联记录,刺激方波脉宽0.5ms,强度5～70mA可调,在不事先预告的情
目的探析中心静脉血氧饱和度在先天性心脏病患儿术后监护中的应用效果。方法随机选取本院心脏外科重症监护病房2017年9月至2018年9月收治的50例先天性心脏病患儿作为此次研究对象。监测患儿术后进入心脏外科重症监护病房后中心静脉血氧饱和度，直至患儿死亡或转出重症监护病房。根据患儿术后情况分为存活组、死亡组，记录两组一般资料，同时分析两组中心静脉血氧饱和度变化趋势。结果存活组共有42例患儿，死亡组8例。
2006年国家自然科学基金委员会半导体学科组受理的面上项目申请数较2005年增长近17％．本文简介了具体的申请与资助概况，分析了半导体学科受理申请的近期动态，介绍学科拟采取的对策