【摘 要】
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<正> 微电子测试结构(microelectronic test structures) 微电子测试结构用于对诸如薄层电阻、线宽、线宽均匀性,掩模对准、接触电阻、少数载流子寿命、漏电流以及随机故障密
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<正> 微电子测试结构(microelectronic test structures) 微电子测试结构用于对诸如薄层电阻、线宽、线宽均匀性,掩模对准、接触电阻、少数载流子寿命、漏电流以及随机故障密度等这样一些参数的自动电学测量。测试结构可以作为分立结构单独提供。或者为了测量一组特定的参数,把测试结构同时集中在一个测试图形中。这种测试结构的一个实例是工艺测试图形,它是由参数和其它的测试结构组成,其目的在于为评价工艺水平提供资料。这些
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